Ю. А. Родионов : Технологические процессы в микро- и наноэлектронике | |
Информация: "Технологические процессы в микро- и наноэлектронике" Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов. Оставляйте и читайте отзывы о книге Технологические процессы в микро- и наноэлектронике - Ю. А. Родионов.  | |
|
| |